上海伯东美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用

放大字体  缩小字体 发布日期:2019-12-17  浏览次数:46
核心提示:半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统 ( 真空管路 ) 的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA插板阀广
 半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统 ( 真空管路 ) 的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中! 


                                 半导体管道插板阀应用示意图                                                                          现场图

真空插板阀

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伯东公司成立于1953 年,超过65年历史.

上海伯东所有产品保证100%原装进口, 拥有强大售后服务团队, 拥有完全的拆解, 维修, 校正能力并提供24小时在线服务.
上海伯东是美国 HVA 插板阀在中国地区一指定总代理商.

上海伯东美国 HVA 插板阀优势
1. 满足高真空(1E10-9  mabr)和超高真空(1E10-10 mbar)应用
2. HVA 插板阀口径 DN 16 至 800 mm
3. 坚固耐用, 超长使用寿命, 可达 1,000,000 启动次数
4. 清洁和高密封性保证 HVA 插板阀与前级, 涡轮分子泵等完美联用
5. 双向密封,最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S
6. 可选择驱动方式多, 手, 气,电动可选
7. 有效保护分子泵. 气动和电动插板阀均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用
8. 标准或定制法兰满足不同应用
9. 国际标准, 插板阀整机美国设计, 制造, 组装, 原装进口

美国 HVA 超过 40年的阀门研发生产经验, 与友厂对比, HVA 插板阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.

美国 HVA 插板阀主要型号

HVA 真空插板阀
HVA 11000 系列
不锈钢插板阀

HVA 真空插板阀
HVA 21200 系列
不锈钢插板阀

HVA 真空闸阀
HVA 21700 系列
不锈钢三位闸阀

HVA 真空插板阀
HVA 71000 系列
不锈钢插板阀

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

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